三氟甲烷
R-23制冷劑,別名R23、氟利昂23、F23、F-23、HFC23、HFC-23、三氟甲烷。由于R-23屬于HFC類物質(非ODS物質Ozone-depleting Substances)——因此完全不破壞臭氧層,是當前世界絕大多數國家認可并推薦使用的環保制冷劑,也是目前主流的環保制冷劑,廣泛用于新冷凍設備(超低溫、深冷)上的初裝和維修過程中的再添加。 在半導體產業中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化
R-23制冷劑,別名R23、氟利昂23、F23、F-23、HFC23、HFC-23、三氟甲烷。由于R-23屬于HFC類物質(非ODS物質Ozone-depleting Substances)——因此完全不破壞臭氧層,是當前世界絕大多數國家認可并推薦使用的環保制冷劑,也是目前主流的環保制冷劑,廣泛用于新冷凍設備(超低溫、深冷)上的初裝和維修過程中的再添加。 在半導體產業中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化
R-23制冷劑,別名R23、氟利昂23、F23、F-23、HFC23、HFC-23、三氟甲烷。由于R-23屬于HFC類物質(非ODS物質Ozone-depleting Substances)——因此完全不破壞臭氧層,是當前世界絕大多數國家認可并推薦使用的環保制冷劑,也是目前主流的環保制冷劑,廣泛用于新冷凍設備(超低溫、深冷)上的初裝和維修過程中的再添加。
在半導體產業中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等離子蝕刻(plasma etching)中。三氟甲烷也是一種制冷劑,名稱為R-23或HFC-23,因為其不含氯,不會造成臭氧層破洞,有時會用來會取代造成臭氧層破洞的三氟氯甲烷(cfc-13)。
三氟甲烷因為其低毒性、不容易反應及高密度,可用作滅火劑使用。此時常使用杜邦的商標名稱FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷過去曾用來取代氣體滅火系統中的海龍1301(cfc-13b1)。
中文名稱:三氟甲烷
中文別名:氟仿;氟里昂-23;HFC-23滅火劑
英文名稱:trifluoromethane
英文別名:Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;
CAS號:75-46-7
EINECS號:200-872-4
規格:8kg/瓶,30kg/瓶
分子式:CHF3
分子量:70.0138
外觀與性狀:無色無臭氣體。